Η Σενγιάνγκ Αστροφεγγιά Προχωρημένος Κεραμικά επιτυγχάνει ορόσημο στην κατασκευή ημιαγωγών με σωλήνες ακριβείας 451 χιλ. Εξωτερική Απόσταση για επεξεργασία πλακιδίων 12 ιντσών

Η Σενγιάνγκ Αστροφεγγιά Προχωρημένος Κεραμικά Κο., ΕΠΕ., πρωτοπόρος στην κατασκευή καρβιδίου του πυριτίου με πάνω από τρεις δεκαετίες εμπειρίας, πέτυχε πρόσφατα μια σημαντική ανακάλυψη, παρέχοντας με επιτυχία εξειδικευμένους σωλήνες επένδυσης εξωτερικής διαμέτρου (Εξωτερική Απόσταση) 451 χιλ. για διαδικασίες κατασκευής πλακιδίων ημιαγωγών 12 ιντσών. Αυτό το επίτευγμα υπογραμμίζει την ηγετική θέση της εταιρείας στην προώθηση κρίσιμων κεραμικών εξαρτημάτων για την παγκόσμια βιομηχανία ημιαγωγών. Οι νεοαναπτυγμένοι σωλήνες επένδυσης, σχεδιασμένοι ειδικά για εφαρμογές επεξεργασίας πλακιδίων υψηλής θερμοκρασίας, διαθέτουν βελτιστοποιημένη εξωτερική διάμετρο φλάντζας 451 χιλ., κατασκευασμένοι για να πληρούν τις αυστηρές απαιτήσεις του προηγμένου εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών. Χρησιμοποιώντας καρβίδιο του πυριτίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας (≥99,999%) με εξαιρετική θερμική σταθερότητα (εύρος λειτουργίας: θερμοκρασία περιβάλλοντος έως 1.450°C), αυτοί...σωλήνες επένδυσης Τα εξαρτήματα εξασφαλίζουν ελάχιστη θερμική διαστολή (συντελεστής 4,0×10⁻⁶/K) και ανώτερη αντοχή σε διαβρωτικά αέρια διεργασίας, επιτρέποντας σταθερή απόδοση σε διεργασίες οξείδωσης, διάχυσης και χημικής εναπόθεσης ατμών (Καρδιαγγειακά νοσήματα). Η ακριβής μηχανική των σωλήνων επένδυσης εγγυάται διαστατικές ανοχές εντός ±0,05 χιλ. και τραχύτητα επιφάνειας κάτω από Ρα 0,1 μm, κρίσιμες για τη διατήρηση της ακεραιότητας των πλακιδίων και τη μείωση των κινδύνων μόλυνσης από σωματίδια σε περιβάλλοντα καθαρού χώρου.

Ο σωλήνες επένδυσηςΗ διαδικασία ανάπτυξης περιελάμβανε 18 μήνες αυστηρής συνεργασίας στην Έρευνα και Ανάπτυξη (R&D) με κορυφαίους κατασκευαστές ημιαγωγών, ενσωματώνοντας προηγμένη ανάλυση πεπερασμένων στοιχείων (FEA) για τη βελτιστοποίηση της δυναμικής ροής αερίου και της θερμικής ομοιομορφίας σε όλη την εσωτερική διάμετρο των 300 χιλ.. Πάνω από 500 δοκιμές θερμικού κύκλου επικύρωσαν τοσωλήνες επένδυσηςανθεκτικότητα υπό γρήγορες διακυμάνσεις θερμοκρασίας, ενώ οι ιδιόκτητες τεχνικές πυροσυσσωμάτωσης διασφαλίζουνσωλήνες επένδυσης δομική ακεραιότητα σε ακραίες θερμοκρασίες. Η παραγωγή πραγματοποιείται σε καθαρούς χώρους ISO Κλάσης 5, με κάθε μονάδα να υποβάλλεται σε ολοκληρωμένη σωλήνες επένδυσηςέλεγχοι ποιότητας, συμπεριλαμβανομένων δοκιμών διαρροής ηλίου, ανάλυσης υπολειμματικού αερίου (RGA) και μετρολογικής επικύρωσης χρησιμοποιώντας σαρωτές λέιζερ και μηχανές μέτρησης συντεταγμένων (CMM). Οι πρώτοι που υιοθέτησαν την προηγμένη λογική και την παραγωγή τσιπ μνήμης έχουν αναφέρει μείωση 35% στον χρόνο διακοπής λειτουργίας του κλιβάνου και βελτίωση 20% στην απόδοση των πλακιδίων σε σύγκριση με τις παραδοσιακές επενδύσεις χαλαζία, γεγονός που αποδίδεται στην εγγενή χημική αδράνεια του υλικού και στις μειωμένες απαιτήσεις συντήρησης.

Αυτό σωλήνες επένδυσηςΗ καινοτομία αντιμετωπίζει την αυξανόμενη ζήτηση της βιομηχανίας ημιαγωγών για μεγαλύτερα μεγέθη πλακιδίων και υψηλότερη συνέπεια στις διαδικασίες, ιδιαίτερα καθώς οι κατασκευαστές μεταβαίνουν σε κόμβους κάτω των 5nm. Ο σχεδιασμός εξωτερικής διαμέτρου 451 χιλ. επιτρέπει την απρόσκοπτη ενσωμάτωση με κάθετους φούρνους επόμενης γενιάς, ενώ τα εξαιρετικά χαμηλά επίπεδα μεταλλικών προσμίξεων του υλικού (<0,1ppb) αποτρέπουν τη μόλυνση από προσμίξεις σε ευαίσθητες διεργασίες. Πέρα από τις τρέχουσες εφαρμογές, η Shenyang Starlight αναπτύσσει ενεργά έξυπνες...σωλήνες επένδυσηςΠρωτότυπα με ενσωματωμένους αισθητήρες για παρακολούθηση θερμοκρασίας σε πραγματικό χρόνο και προσαρμοστικά συστήματα θερμικής διαχείρισης συμβατά με τα οικοσυστήματα κατασκευής Βιομηχανία 4.0.

Με μια κληρονομιά που εκτείνεται σε 30 χρόνια και πάνω από 2.000 επιτυχημένες συνεργασίες με πελάτες, η Σενγιάνγκ Αστροφεγγιά συνεχίζει να προωθεί την καινοτομία στα κεραμικά υψηλής απόδοσης, συνδυάζοντας την αριστεία στην επιστήμη των υλικών με την μηχανική ακριβείας για την επίλυση των πιο σύνθετων προκλήσεων της βιομηχανίας ημιαγωγών.